精华内容
下载资源
问答
  • 2022-02-14 13:50:27

    中国MEMS传感器行业行业前景展望及投资潜力分析报告2022-2028年
    详情内容请咨询鸿晟信合研究院!
    【全新修订】:2022年2月
    【撰写单位】:鸿晟信合研究研究【报告目录】
    第1章:MEMS传感器行业发展背景
    1.1 MEMS传感器行业报告研究背景及方法
    1.1.1 MEMS传感器行业研究背景
    1.1.2 MEMS传感器行业定义及分类
    (1)MEMS传感器的定义
    (2)MEMS传感器主要分类
    1.1.3 MEMS传感器行业产品优点与作用
    (1)MEMS传感器产品优点
    (2)MEMS传感器产品作用
    1.1.4 MEMS传感器行业所属国民经济行业分类
    1.1.5 MEMS传感器行业数据来源及统计口径
    1.2 MEMS传感器行业发展环境分析
    1.2.1 MEMS传感器行业政策环境分析
    (1)行业主管部门、监管体制
    (2)行业相关标准现状
    (3)行业法规及政策解析
    (4)政策环境对行业行业的影响分析
    1.2.2 MEMS传感器行业经济环境分析
    (1)我国宏观经济环境现状分析
    (2)经济环境对行业的影响分析
    1.2.3 MEMS传感器行业社会环境分析
    (1)人口环境分析
    (2)城镇化水平分析
    (3)社会环境对行业的影响
    1.2.4 MEMS传感器行业技术环境分析
    (1)全球MEMS传感器行业技术环境分析
    (2)中国MEMS传感器行业技术环境分析
    第2章:全球MEMS传感器行业总体市场形势
    2.1 全球MEMS传感器行业市场现状分析
    2.1.1 全球MEMS传感器市场规模分析
    2.1.2 全球MEMS传感器行业竞争格局
    2.1.3 全球MEMS传感器市场结构分析
    (1)应用结构分析
    (2)产品结构分析
    2.1.4 全球MEMS传感器产品价格分析
    (1)产品价格走势分析
    (2)价格下降因素分析
    (3)企业应对策略分析
    2.2 发达国家/地区MEMS传感器行业市场现状分析
    2.2.1 美国MEMS传感器行业分析
    (1)美国MEMS传感器发展现状分析
    (2)美国MEMS传感器竞争格局
    2.2.2 欧洲MEMS传感器行业分析
    (1)欧洲MEMS传感器发展现状分析
    (2)欧洲MEMS传感器竞争格局
    2.2.3 日本MEMS传感器行业分析
    (1)日本MEMS传感器发展现状分析
    (2)日本MEMS传感器竞争格局
    2.3 全球MEMS传感器行业市场发展前景预测
    第3章:中国MEMS传感器行业运营状况分析
    3.1 中国MEMS传感器行业发展概况分析
    3.1.1 中国MEMS传感器发展现状分析
    3.1.2 MEMS传感器行业供需形势分析
    (1)MEMS传感器行业供给情况分析
    (2)MEMS传感器行业需求情况分析
    (3)MEMS传感器行业供需平衡分析
    3.2 中国MEMS传感器市场规模分析
    3.3 MEMS传感器行业市场结构分析
    3.3.1 行业产品结构分析
    3.3.2 行业区域结构分析
    3.3.3 产品应用结构分析
    3.4 中国MEMS传感器行业市场竞争状况
    3.4.1 市场波特五力模型分析
    (1)现有竞争者之间的竞争
    (2)供应商议价能力分析
    (3)购买者议价能力分析
    (4)行业潜在进入者分析
    (5)替代品风险分析
    (6)五力分析总结
    3.4.2 市场竞争现状分析
    3.5 中国MEMS传感器行业兼并与重组分析
    3.5.1 行业兼并与重组概况
    3.5.2 行业兼并与重组方式
    3.5.3 行业兼并与重组趋势
    第4章:中国MEMS传感器产业链及上游行业分析
    4.1 MEMS传感器行业产业链结构分析
    4.1.1 MEMS传感器行业产业链概览
    4.1.2 MEMS传感器行业上游行业分析
    4.1.3 MEMS传感器行业下游行业分析
    4.2 单晶硅片行业发展分析
    4.2.1 行业发展现状分析
    (1)中国单晶硅片行业发展历程分析
    (2)中国单晶硅片行业状态描述总结
    (3)中国单晶硅片行业发展特点分析
    4.2.2 行业供需情况分析
    (1)行业供给情况分析
    (2)行业需求情况分析
    (3)行业产品结构分析
    4.2.3 行业盈利水平分析
    4.2.4 行业价格走势分析
    4.2.5 行业企业产能分析
    4.2.6 行业市场竞争分析
    4.2.7 行业市场趋势分析
    (1)行业发展因素分析
    (2)行业发展趋势预测
    (3)行业发展前景预测
    4.3 石墨烯行业发展分析
    4.3.1 行业发展现状分析
    4.3.2 行业企业规模分析
    4.3.3 行业市场规模分析
    4.3.4 行业竞争情况分析
    (1)企业竞争分析
    (2)行业区域分布
    4.3.5 行业价格走势分析(以石墨烯粉体为例)
    4.3.6 行业市场趋势分析
    (1)石墨烯行业发展趋势分析
    (2)石墨烯行业发展前景预测
    4.4 PP树脂行业发展分析
    4.4.1 PP树脂行业发展概述
    4.4.2 PP树脂行业供需情况分析
    (1)PP树脂行业供给分析
    (2)PP树脂行业需求分析
    4.4.3 PP树脂生产企业分析
    4.4.4 PP树脂价格走势分析
    4.4.5 PP树脂行业发展趋势分析
    第5章:中国MEMS传感器行业细分产品分析
    5.1 MEMS声学传感器市场现状分析
    5.1.1 产品相关信息介绍
    5.1.2 产品应用领域分析
    5.1.3 产品市场规模分析
    5.1.4 产品市场竞争分析
    5.1.5 产品市场规模预测
    5.2 MSME压力传感器市场现状分析
    5.2.1 产品相关信息介绍
    5.2.2 产品应用领域分析
    5.2.3 产品市场规模分析
    5.2.4 产品市场竞争分析
    (1)应用结构分析
    (2)企业竞争分析
    5.2.5 产品市场规模预测
    5.3 MEMS惯性传感器市场现状分析
    5.3.1 产品相关信息介绍
    5.3.2 产品应用领域分析
    5.3.3 产品市场规模分析
    5.3.4 产品市场竞争分析
    5.3.5 产品市场规模预测
    5.4 其他细分产品发展现状分析
    5.4.1 MEMS环境传感器现状分析
    5.4.2 MEMS生物传感器现状分析
    5.4.3 MEMS流量传感器现状分析
    5.4.4 MEMS气体传感器现状分析
    第6章:中国MEMS传感器行业应用领域发展前景分析
    6.1 中国MEMS传感器制造行业主要应用领域
    6.2 在网络与通信行业应用前景分析
    6.2.1 应用现状分析
    6.2.2 应用规模分析
    6.2.3 发展趋势分析
    6.2.4 投资机会分析
    6.3 在汽车电子行业应用前景分析
    6.3.1 应用现状分析
    6.3.2 应用规模分析
    6.3.3 发展趋势分析
    6.3.4 竞争现状分析
    6.3.5 投资机会分析
    6.4 在计算机行业应用前景分析
    6.4.1 应用现状分析
    6.4.2 应用规模分析
    6.4.3 发展趋势分析
    6.4.4 投资机会分析
    6.5 在医疗保健行业应用前景分析
    6.5.1 应用现状分析
    6.5.2 应用规模分析
    6.5.3 发展趋势分析
    6.5.4 投资机会分析
    6.6 在消费电子行业应用前景分析
    6.6.1 应用现状分析
    6.6.2 应用规模分析
    6.6.3 发展趋势分析
    6.6.4 投资机会分析
    6.7 在其他领域应用现状分析
    6.7.1 物联网领域的应用现状分析
    6.7.2 工业领域的应用现状分析
    6.7.3 航空航天领域的应用现状分析
    第7章:MEMS传感器行业重点区域市场需求分析
    7.1 广东省MEMS传感器市场发展情况
    7.1.1 广东省MEMS传感器政策分析
    7.1.2 广东省MEMS传感器需求分析
    7.1.3 广东省MEMS传感器企业竞争格局
    7.1.4 广东省MEMS传感器市场前景
    7.2 浙江省MEMS传感器市场发展情况
    7.2.1 浙江省MEMS传感器政策分析
    7.2.2 浙江省MEMS传感器需求分析
    7.2.3 浙江省MEMS传感器企业竞争格局
    7.2.4 浙江省MEMS传感器市场前景
    7.3 江苏省MEMS传感器市场发展情况
    7.3.1 江苏省MEMS传感器政策分析
    7.3.2 江苏省MEMS传感器需求分析
    7.3.3 江苏省MEMS传感器企业竞争格局
    7.3.4 江苏省MEMS传感器市场前景
    7.4 辽宁省MEMS传感器市场发展情况
    7.4.1 辽宁省MEMS传感器政策分析
    7.4.2 辽宁省MEMS传感器需求分析
    7.4.3 辽宁省MEMS传感器企业竞争格局
    7.4.4 辽宁省MEMS传感器市场前景
    7.5 山东省MEMS传感器市场发展情况
    7.5.1 山东省MEMS传感器政策分析
    7.5.2 山东省MEMS传感器需求分析
    7.5.3 山东省MEMS传感器企业竞争格局
    7.5.4 山东省MEMS传感器市场前景
    第8章:中国MEMS传感器领先企业经营分析
    8.1 MEMS传感器企业总体发展状况分析
    8.1.1 企业产品现状分析
    8.1.2 企业地区分布分析
    8.1.3 上市企业汇总
    8.2 重点MEMS传感器企业个案分析
    8.2.1 歌尔股份有限公司
    (1)企业发展简况分析
    (2)企业营收情况分析
    (3)企业产品结构分析
    (4)企业业务区域分析
    (5)企业经营状况优劣势分析
    8.2.2 杭州士兰微电子股份有限公司
    (1)企业发展简况分析
    (2)企业营收情况分析
    (3)企业产品结构分析
    (4)企业销售渠道及网络
    (5)企业经营状况优劣势分析
    8.2.3 汉威科技集团股份有限公司
    (1)企业发展简况分析
    (2)企业营收情况分析
    (3)企业产品结构分析
    (4)企业销售渠道及网络
    (5)企业经营状况优劣势分析
    8.2.4 深迪半导体(上海)有限公司
    (1)企业发展简况分析
    (2)企业经营情况分析
    (3)企业产品结构分析
    (4)企业销售渠道及网络
    (5)企业经营状况优劣势分析
    8.2.5 河北美泰电子科技有限公司
    (1)企业发展简况分析
    (2)企业经营情况分析
    (3)企业产品结构分析
    (4)企业经营状况优劣势分析
    8.2.6 苏州明皜传感科技有限公司
    (1)企业发展简况分析
    (2)企业经营情况分析
    (3)企业产品结构分析
    (4)企业业务区域分析
    (5)企业经营状况优劣势分析
    8.2.7 苏州敏芯微电子技术股份有限公司
    (1)企业发展简况分析
    (2)企业经营情况分析
    (3)企业产品结构分析
    (4)企业销售渠道及网络
    (5)企业经营状况优劣势分析
    8.2.8 麦克传感器股份有限公司
    (1)企业发展简况分析
    (2)企业营收情况分析
    (3)企业产品结构分析
    (4)企业业务区域分析
    (5)企业经营状况优劣势分析
    8.2.9 共达电声股份有限公司
    (1)企业发展简况分析
    (2)企业营收情况分析
    (3)企业产品结构分析
    (4)企业业务区域分析
    (5)企业经营状况优劣势分析
    8.2.10 北京星网宇达科技股份有限公司
    (1)企业发展简况分析
    (2)企业营收情况分析
    (3)企业产品结构分析
    (4)企业业务区域分析
    (5)企业经营状况优劣势分析
    第9章:中国MEMS传感器行业“十四五”发展规划及投资分析
    9.1 MEMS传感器行业投资潜力分析
    9.1.1 中国MEMS传感器行业生命发展周期
    9.1.2 中国MEMS传感器行业发展促进因素分析
    9.1.3 中国MEMS传感器行业发展阻碍因素分析
    9.2 MEMS传感器行业投资特性分析
    9.2.1 行业进入壁垒分析
    (1)技术壁垒
    (2)产业链壁垒
    (3)人才壁垒
    (4)规模壁垒
    9.2.2 行业经营模式分析
    (1)外购芯片封装模式
    (2)IDM模式
    (3)垂直分工制造模式
    9.2.3 行业盈利因素分析
    9.3 MEMS传感器行业发展趋势与前景预测
    9.3.1 行业发展存在的问题及策略建议
    (1)行业发展存在的问题分析
    (2)行业发展策略建议
    9.3.2 MEMS传感器行业发展趋势分析
    (1)行业技术发展趋势分析
    (2)行业产品结构发展趋势分析
    (3)行业市场竞争趋势分析
    (4)行业产品应用领域发展趋势
    9.3.3 MEMS传感器行业发展前景预测
    9.4 MEMS传感器行业投资现状及建议
    9.4.1 MEMS传感器行业投资项目分析
    9.4.2 MEMS传感器行业投资风险警示
    9.4.3 MEMS传感器行业投资策略建议

    图表目录
    图表1:MEMS传感器基本构成
    图表2:MEMS传感器按工作原理分类
    图表3:MEMS传感器产品优点
    图表4:MEMS传感器行业产品应用的领域及作用分析
    图表5:MEMS传感器所属的国民经济分类
    图表6:2021年实施/即将实施传感器制造行业国家标准目录
    图表7:截至2021年6月中国MEMS传感器行业主要政策分析
    图表8:2017-2021年我国国内生产总值及变化趋势(单位:亿元,%)
    图表9:2017-2021年中国全社会固定资产投资额(不含农户)及其增长速度(单位:万亿元;%)
    图表10:2021年中国主要经济指标预测(单位:万人,万亿斤,%)
    图表11:2018-2021年中国总人口数量及增长情况(单位:亿人,%)
    图表12:2017-2021年中国城镇化率变化分析图(单位:%)
    图表13:全球MEMS传感器行业专利发展阶段分析
    图表14:截至2021年6月全球MEMS传感器专利数量按国家地区分布情况(单位:%)
    图表15:截至2021年6月全球MEMS传感器技术专利申请人排行榜Top10(单位:件,%)
    图表16:2017-2021年中国MEMS传感器技术专利申请量情况(单位:件)
    图表17:2017-2021年中国MEMS传感器技术专利公开量情况(单位:件)
    图表18:截至2021年中国MEMS传感器技术专利申请人排行榜Top10(单位:件,%)
    图表19:截至2021年中国MEMS传感器行业技术相关专利分布领域TOP10(单位:件)
    图表20:国外权威机构对2019-2021年全球MEMS传感器行业规模的统计(单位:亿美元,%)
    图表21:2019-2021年全球MEMS传感器市场规模(单位:亿美元)
    图表22:2021年全球MEMS传感器行业销售收入区域热力分布图
    图表23:2021年全球MEMS传感器各应用市场占比情况(一)(单位:%)
    图表24:2021年全球MEMS各应用市场占比情况(二)(单位:%)
    图表25:2021年全球MEMS各产品市场占比情况(单位:%)
    图表26:2017-2022年全球MEMS传感器的平均售价情况及预测(单位:美元/只)
    图表27:全球MEMS传感器行业产品价格下降因素分析
    图表28:全球MEMS传感器行业采取Fabless模式的优势分析
    图表29:全球MEMS传感器行业封装要求
    图表30:2018-2026年北美洲MEMS传感器市场销售规模及预测(单位:亿美元,%)
    图表31:美国MEMS传感器行业领先企业
    图表32:2018-2026年德国MEMS传感器市场销售规模及预测(单位:亿美元,%)
    图表33:欧洲MEMS传感器行业领先企业
    图表34:2018-2026年日本MEMS传感器市场销售规模及预测(单位:万美元)
    图表35:日本MEMS传感器行业领先企业
    图表36:2021-2027年全球MEMS传感器市场规模及预测(单位:亿美元)
    图表37:2017-2021年我国MEMS传感器行业企业累计数量(单位:家)
    图表38:国内厂商MEMS传感器产能规划
    图表39:2017-2021年中国MEMS市场规模及其增速(单位:亿元,%)
    图表40:中国MEMS行业产品结构占比(单位:%)
    图表41:我国MEMS传感器行业产品各区域分布结构
    图表42:中国MEMS主要应用领域市场占比(单位:%)
    图表43:现有MEMS传感器制造行业企业的竞争分析
    图表44:MEMS传感器制造行业供应商议价能力分析
    图表45:MEMS传感器制造行业潜在进入者威胁分析
    图表46:我国MEMS传感器制造行业五力模型分析结论
    图表47:2017-2021年MEMS传感器行业并购案例分析
    图表48:MEMS传感器行业产业链结构
    图表49:中国单晶硅片行业发展历程分析
    图表50:中国单晶硅片行业状态描述
    图表51:中国单晶硅片行业发展特点分析
    图表52:2017-2021年中国单晶硅片产量(单位:GW)
    图表53:2018-2021年中国单晶硅片需求及预测(单位:GW,%)
    图表54:2021年中国单晶市场占比结构(按出货量)(单位:%)
    图表55:2017-2021年中国单晶硅片行业典型企业毛利率情况(单位:%)
    图表56:2021年中国158.75mm/170?0?8m单晶硅片行业价格走势(单位:美元)
    图表57:2021年中国部分企业单晶硅片产能(单位:GW)
    图表58:2021年中国单晶硅产能市占率情况(单位:%)
    图表59:中国部分单晶硅片行业企业情况
    图表60:单晶硅片行业发展因素分析
    图表61:单晶硅片行业应用趋势分析
    图表62:2021-2027年不同类型硅片的市场份额变化及预测(单位:%)
    图表63:单晶硅片行业技术趋势分析
    图表64:单晶硅片行业竞争趋势分析
    图表65:单晶硅片行业市场趋势分析
    图表66:2021-2027年中国单晶硅片需求预测(单位:GW)
    图表67:2010-2021年我国石墨烯注册企业数量(单位:家)
    图表68:2017-2021年中国石墨烯市场规模(单位:亿元,%)
    图表69:石墨烯相关上市公司产业链布局情况
    图表70:中国主要石墨烯企业生产情况
    图表71:石墨烯区域创新中心
    图表72:2017-2021年中国石墨烯粉体价格及预测(单位:万元/吨)
    图表73:石墨烯应用潜力分析
    图表74:2021-2027年中国石墨烯市场预测(单位:亿元,%)
    图表75:2012-2021年聚丙烯(PP)产能情况(单位:万吨/年,%)
    图表76:2021年新增聚丙烯(PP)产能情况(单位:万吨/年)
    图表77:2012-2021年中国聚丙烯(PP)产量及增速(单位:万吨,%)
    图表78:2012-2021年国内聚丙烯(PP)表观消费量(单位:万吨)
    图表79:2021年国内聚丙烯(PP)生产能力排名前十企业(单位:万吨/年)
    图表80:2021年1-9月我国PP市场价格走势图(单位:元/吨)
    图表81:2021-2027年中国聚丙烯树脂(PP)消费量预测(单位:万吨)
    图表82:MEMS声学传感器的应用领域(以麦克风为例)
    图表83:2017-2021年我国MEMS声学传感器市场规模(单位:亿元,%)
    图表84:全球MEMS声学传感器行业企业供货模式分析
    图表85:我国MEMS声学传感器行业领先企业(排名不分先后)
    图表86:2021-2027年我国MEMS声学传感器市场规模预测(单位:亿元)
    图表87:三类典型硅微机械压力传感器结构图
    图表88:MEMS压力传感器的应用领域
    图表89:2017-2021年我国MEMS压力传感器市场规模情况(单位:亿元,%)
    图表90:我国MEMS压力传感器市场应用结构(单位:%)
    图表91:我国MEMS压力传感器行业主要龙头企业(排名不分先后)
    图表92:2021-2027年我国MEMS压力传感器市场规模预测(单位:亿元)
    图表93:MEMS陀螺仪(加速计)内部构造
    图表94:MEMS惯性传感器的应用领域(按下游领域划分)
    图表95:MEMS惯性传感器的应用领域(按精度分)
    图表96:2017-2021年中国MEMS惯性传感器市场规模情况(单位:亿元,%)
    图表97:我国MEMS惯性传感器行业领先企业(排名不分先后)
    图表98:全球各精度MEMS惯性传感器供应商竞争格局
    图表99:2021-2027年我国MEMS惯性传感器市场规模预测(单位:亿元)
    图表100:国内MEMS环境传感器行业主要企业及产品分析
    图表101:MEMS生物传感器组成
    图表102:MEMS流量传感器应用
    图表103:2017-2021年我国MEMS气体传感器市场规模及预测(单位:亿元)
    图表104:MEMS传感器主要应用领域
    图表105:MEMS传感器在网络与通信行业应用现状分析
    图表106:2018-2021年中国MEMS传感器在网络与通信行业中应用规模(单位:亿元,%)
    图表107:2021-2027年中国MEMS传感器在网络与通信行业中应用规模预测(单位:亿元)
    图表108:MEMS传感器在汽车电子行业应用现状分析
    图表109:2017-2021年中国MEMS传感器在汽车电子中应用规模(单位:亿元,%)
    图表110:2021-2027年中国MEMS传感器在汽车电子中应用规模预测(单位:亿元)
    图表111:国外毫米波雷达公司具体产品情况
    图表112:国内初创毫米波雷达厂商市场化进度
    图表113:2018-2026中国MEMS传感器在计算机中应用规模(单位:亿元,%)
    图表114:2021-2027中国MEMS传感器在计算机中应用规模预测(单位:亿元)
    图表115:MEMS传感器在医疗电子行业应用现状分析
    图表116:2017-2021年中国MEMS传感器在医疗电子中应用规模及预测(单位:亿元,%)
    图表117:2021-2027年中国MEMS传感器在医疗电子中应用规模及预测(单位:亿元)
    图表118:MEMS传感器在消费电子行业应用现状分析
    图表119:2017-2021年中国MEMS传感器在消费电子中应用规模及预测(单位:亿元,%)
    图表120:2021-2027年中国MEMS传感器在消费电子中应用规模及预测(单位:亿元)
    略··

    更多相关内容
  • 这与芯片、材料和制造技术的发展密不可分,MEMS传感器它是一种融合了机电和控制技术的传感器,相对于传统传感器,体积更小、重量也轻、成本更低、功耗低等,MEMS传感器体积灵活,既可以是常规传感器,也可以是芯片级...
  • 本文将从MEMS传感器的概念、制造及工艺、MEMS传感器与传统传感器的区别、MEMS传感器的分类几大部分详解,帮助初识MEMS传感器的读者快速了解这一重要器件。 传感器发展到今天,小型化、智能化、集成化,已经是...
  • 在市场引导、科技推动、风险投资、政府介入等多重作用下,汽车MEMS传感器发展迅速,现已成为相关部门争先投资开发的热点。在高档汽车中,大约采用25至40只MEMS传感器,技术上日趋成熟完善,可满足汽车环境苛刻、可靠...
  • 这个设计技巧解释了如何分析和识别MEMS传感器中的噪声。解释了Allan方差和hadamard方差,以及它们的变化(重叠、修正和总计),还提到了理论方差1(Theo1)。     好处:   如何通过Allan和...
  • 现在汽车的预防安全越来越受到人们重视,MEMS传感器应用于汽车安全技术许多领域,以下是对汽车领域中MEMS传感器的十大应用知识盘点: 1电子稳定性控制系统 (ESC) 电子稳定性控制系统 (ESC、Electric ...
  •  一般而言,汽车中使用的MEMS传感器可分为四类:  加速度计和陀螺仪。  用于测量流量和压力的传感器。  用于车载应用的传感器,包括可改善和监控道路视觉的红外传感器,进行车内温度和空气质量测量的传感器,...
  • 2020-2025年中国MEMS传感器行业市场深度评估及投资战略研究报告.pdf
  • MEMS传感器及应用

    2020-10-23 13:53:28
    MEMS传感器能够将信息的获取、处理和执行集成在一起,组成具有多功能的微型系统,从而大幅度地提高系统的自动化、智能化和可靠性水平。本期半月谈电子元件技术网将与您一起剖析MEMS传感器及应用...
  • MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。它具有体积小、质量轻、成本低、功耗低、可靠性高、技术附加值高,适于批量化生产、易于集成和实现智能化等特点。
  • 实现随时随地定位的目标离不开高品质的MEMS传感器和高性能的行人航位推算算法。本文主要讨论各种行人航位推算算法上需要用到的传感器组件的数学表述,以及可用性和可靠性更高的PDR行人航位推算算法的测试结果。  ...
  • 摘要: 提出了一种基于MEMS 传感器、LM3S1138 嵌入式处理器和Vega 仿真平台的虚拟现实参观系统,介绍了系统主机端和手柄模块的系统结构。通过坐标变换的方法将传感器测量值转换成手柄在球坐标系中的状态,并计算出...
  • 随着可穿戴智能设备的发展,特别是医疗可穿戴智能设备,主要依靠MEMS传感器,从而检测到穿戴者的身体各项信息。那么什么是MEMS传感器呢?
  • 03-MEMS传感器设计指南.zip
  • 汽车电子产业被认为是MEMS传感器的第一波应用高潮,但随着消费电子领域大发展及创新不断涌现,消费电子已经成为MEMS最大的应用市场。尽管全球经济疲软趋势不减,在中国这个庞大的市场上,平板电脑和智能手机等消费...
  • 意法半导体(STMicroelectronics,简称ST)是MEMS传感器主要供应商之一。MEMS传感器市场近年的爆发式增长为ST带来了丰厚的收入。在此情况下,ST正在努力寻找和培养新的MEMS传感器增长点。
  • 与因特网相似,定位系统(GPS)卫星导航正成为人们日常生活各个方面都离不开的一项泛在技术。在生死危急关头,GPS不仅可以使紧急救护车发现快的响应路线路径;而且GPS可以使海上考古学家直奔研究船只目标搜寻船只残骸...
  • MEMS 的全称是微型电子机械系统,利用传统的半导体工艺和材料,集微传感器、微执行器、微机械机构、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。具有小体积、低成本、集成...
  • 压电材料是指受到压力作用在其两端面会出现电荷的一大类单晶或多晶的固体材料,它是进行能量转换和信号传递的重要载体。最早报道材料具有压电特性的是法国物理学家居里兄弟,1880年他们发现把重物放在石英晶体上,...
  • 随着太阳能、风能产业的高速发展,当下储能产业无法跟上脚步,多余的电能可通过电解水的方式,用于制造氢能源。能源产业的联动,将有助于FCV进一步缩减成本。
  • 石英MEMS传感器敏感芯片的各种工艺详解
  • MEMS传感器研究报告

    2021-03-20 15:40:07
    在 MEMS 传感器的晶圆级封装开发工艺中,封装成本约占 MEMS 传感器总成本的 30%~40%,封装尺寸面积的减少能够降低 MEMS传感器的成本、提高传感器的灵敏度。根据市场调研机构 Yole Développement 的研究,MEMS
  • 来源:传感器专家网本文涵盖了MEMS产业链的所有与流程与知识,力求用最简短的内容——全文不足8000字,让我们知道最全面的MEMS产业链情况,包括如下内容:一、MEMS简介二、MEMS分类...

    4f51794364fcc9a5e053353860f6669f.png

    来源:传感器专家网

    本文涵盖了MEMS产业链的所有与流程与知识,力求用最简短的内容——全文不足8000字,让我们知道最全面的MEMS产业链情况,包括如下内容:

    一、MEMS简介

    二、MEMS分类

    三、MEMS 行业发展历程

    四、国内传感器企业的主要布局区域

    五、MEMS产业链流程

    六、全球MEMS供应链

    七、MEMS传感器生产厂商

    八、MEMS传感器的应用

    九、MEMS代工产业

    十、MEMS封装测试

    十一、MEMS传感器几大应用

    十二、国内MEMS产业链相关龙头企业

    一、MEMS简介

    MEMS的全称是微型电子机械系统(Micro Electromechanical System),利用半导体制造工艺和材料,将传感器、执行器、机械机构、信号处理和控制电路等集成于一体的微型器件或系统,其内部结构一般在微米甚至纳米量级。MEMS主要包含两个部分:传感器和执行器。

    与传统的机械传感器相比,MEMS传感器具有体积小、集成化、智能化、低成本等优点,可以满足物联网时代对于传感器的要求。

    二、MEMS分类

    MEMS 传感器种类很多,也有多种分类方法。按其工作原理,大致可分为MEMS物理、化学和生物传感器,其中每一种MEMS传感器又可分为很多种小类,不同的MEMS 传感器可以测量不同的量,实现不同的功能。

    ba49062021134839a37680625c8957b0.png

    传感器分类

    三、MEMS 行业发展历程

    MEMS 起源可追溯至 20 世纪 50 年代,硅的压阻效应被发现后,学者们开始了对硅传感器的研究。然而,MEMS 产业真正发展始于 20 世纪 80 年代,前后经历了 3 次产业化浪潮。

    20 世纪 80 年代至 90 年代:1983 年 Honeywell 利用大型刻蚀硅片结构和背蚀刻膜片制作了集成压力传感器,将机械结构与电路集成在一个芯片内。80 年代末至 90 年代,汽车行业的快速发展,汽车电子应用如安全气囊、制动压力、轮胎压力监测系统等需求增长,巨大利润空间驱使欧洲、日本和美国的企业大量生产 MEMS,推动了 MEMS 行业发展的第一次浪潮。

    20 世纪 90 年代末至 21 世纪初:本阶段早期,喷墨打印头和微光学器件的巨大需求促进了 MEMS 行业的发展。而 2007 年后,消费电子产品对 MEMS 的强劲需求,手机、小家电、电子游戏、远程控制、移动互联网设备等消费电子产品要求体积更小且功耗更低的 MEMS 相关器件,对 MEMS 产品需求更大,掀起了 MEMS 行业发展的第二次产业化浪潮,并将持续推动 MEMS 行业向前发展。

    2010 年至今:产品应用的扩展,使 MEMS 行业呈现新的趋势。MEMS 产品逐步应用于物联网、可穿戴设备等新领域,应用场景日益丰富,正渐渐覆盖人类生活的各个维度。此外,MEMS 是当前移动终端创新的方向,新的设备形态(如可穿戴设备)需要更加微型化的器件和更为便捷的交互方式。然而,物联网、可穿戴设备应用助推 MEMS 第三次产业化浪潮的同时,行业仍然面临来自产品规格、功率消耗、产品整合以及成本等方面的压力,MEMS 产品及相关技术亟待持续改进,以满足更小、更低能耗、更高性能的需求。

    四、国内传感器企业的主要布局区域

    长三角区域

    •以上海、无锡、南京为中心。

    •逐渐形成包括热敏、磁敏、图像、称重、光电、温度、气敏等较为完备的传感器生产体系及产业配套。

    珠三角区域

    •以深圳中心城市为主。

    •由附近中小城市的外资企业组成以热敏、磁敏、超声波、称重为主的传感器产业体系。

    东北地区

    •以沈阳、长春、哈尔滨为主。

    •主要生产MEMS力敏传感器、气敏传感器、湿敏传感器。

    京津区域

    •主要以高校为主。

    •从事新型传感器的研发,在某些领域填补国内空白。北京已建立微米/纳米国家重点实验室。

    中部地区

    •以郑州、武汉、太原为主。

    •产学研紧密结合的模式,在PTC/NTC热敏电阻、感应式数字液位传感器和气体传感器等产业方面发展态势良好。

    五、MEMS产业链流程

    MEMS是多学科交叉的复杂系统,整个产业链涉及设计、制造、封装测试、软件及应用方案环节。

    469ba4275f6ab60e1531faec07c07629.png
    MEMS产业链流程

    六、全球MEMS供应链

    MEMS整个产业链复杂,涉及的厂商众多;中国的设计、制造、封装测试厂商都在积极布局MEMS,已形成完整MEMS的产业链。

    6028ab04ffe71c628c120489fd4869a5.png

    全球MEMS供应链

    七、MEMS传感器生产厂商

    全球MEMS传感器制造厂商如下

    罗伯特.博世

    意法半导体(ST)

    德州仪器

    惠普

    Qorvo

    楼氏电子(Knowles)

    应美盛(InvenSense)

    DENSO

    佳能

    松下(Panasonic)

    NXP—飞思卡尔(Freescale)

    SENSATA

    英飞凌(Infineon) 

    旭化成微电子(AKM )

    亚德诺半导体(Analog Devices)

    村田制作所(Murata)

    AMPHENOL

    霍尼韦尔(Honeywell) 

    瑞声科技(AAC)

    歌尔声学-全球MEMS麦克风龙头

    ABB

    PCB

    Vishay

    HBM

    MEAS

    飞利浦

    汉威电子-国内气体传感器龙头

    美新半导体(MEMSIC)(2016年7月被华灿光电收购)

    北京青鸟元芯

    华工科技-国内家电温度传感器龙头

    中航电测-军工MEMS龙头

    大立科技

    昆仑海岸

    高德红外

    科陆电子

    瑞声声学

    航天机电

    广陆数测

    格科微电子

    杭州麦乐克

    华润半导体

    ......

    八、MEMS传感器的应用

    MEMS传感器种类繁多,主要的MEMS传感器包括运动传感器、压力、麦克风、环境、光传感器等。其中运动传感器可分为陀螺仪、加速度计、磁力计,

    1、MEMS运动传感器

    MEMS运动传感器主要有加速度计、陀螺仪、磁力计三大类,加速度计和陀螺仪可以集成为六轴惯性传感器;磁力计和加速度计集成为电子罗盘(e-compass),加速度计、陀螺仪和磁力计可集成为9轴传感器。

    MEMS陀螺仪是通过陀螺仪的核心原理科里奥利力测角速度的;MEMS加速度计可以感知任意方向上的加速度。MEMS磁力计通过测试磁场强度和方向可以定位设备的方位。

    惯性传感器(加速度计+陀螺仪)厂家有:意法半导体(ST)、旭化成微电子(AKM )、应美盛(InvenSense)、罗伯特.博世等。

    电子罗盘(磁力计+加速度计)厂家有:旭化成微电子(AKM )、雅马哈(Yamaha)、阿尔卑斯(Alps Electric) 、美新半导体(MEMSIC)(2016年7月被华灿光电收购)等。

    2、MEMS麦克风

    MEMS麦克风在消费电子、汽车、医疗等领域广泛的应用。目前几乎每部智能手机至少使用一个MEMS麦克风,高端的智能手机甚至使用三个麦克风,分别用于语音采集、噪音消除、改善语音识别,而iPhone 6S已经采用了4个MEMS麦克风。在物联网的时代,大量的物联网设备也将使用MEMS麦克风。苹果iPhone 5S和5C采用两颗楼氏电子(Knowles)、一颗是瑞声科技(AAC)的MEMS麦克风。

    3、MSME压力传感器

    压力传感器主要用于检测压力,根据量程范围可分为低压、中压、高压压力传感器。MEMS压力传感器则属于低压传感器,主要检测原理有硅电容式和硅压阻式。

    汽车和医疗是MEMS压力传感器最大的应用领域。与MEMS惯性传感器相比,目前MEMS压力传感器在消费电子与移动领域的应用不是特别广泛,主要包括潜水与运动手表、计步器和徒步高度计,部分应用于饮水机、洗衣机、太阳能热水器等家电产品充当水位传感器。未来智能手机、平板电脑可能集成MEMS压力传感器用以检测大气压,或充当高度计以支持室内定位服务。

    4、MEMS环境传感器

    MEMS湿度传感器在工业控制、气象、农业、矿山检测等行业中得到了广泛的应用。MEMS气体传感器主要用于检测目标气体的成分、浓度等。

    还有森斯特(北京)电子科技有限公司(Nenvitech)、深圳市戴维莱传感技术开发有限公司、武汉四方光电科技有限公司、速丽德(Solidsense)、城市技术(CityTechnology) 等。

    5、MEMS生物传感器

    MEMS生物传感器目前处于发展初期。MEMS生物传感器是利用生物分子探测生物反应信息的器件,被列为新世纪五大医学检验技术之一,是现代生物技术与微电子学、化学等多学科交叉结合的产物。未来MEMS生物传感器在医学、食品工业、环境监测等领域具有广阔发展空间。

    九、MEMS代工产业

    目前提供MEMS代工的IDM厂商主要有意法半导体、索尼、德州仪器等;台积电目前是全球最大的独立的MEMS代工厂,全球领先的纯MEMS代工厂还有Silex Microsystems、Teledyne DALSA、Asia Pacific Microsystems、X-FAB 、Innovative Micro Technology等,国内的中芯国际、华宏宏利、上海先进半导体也有生产MEMS的能力。

    与传统集成电路产业类似,从 MEMS 产业价值链来看,根据行业内企业提供的产品或服务,可以分为设计、制造和封测三个环节。其中,MEMS 制造行业属于 MEMS 行业的一个环节,处于产业链的中游。该行业根据设计环节的需求开发各类 MEMS 芯片的工艺制程并实现规模生产,兼具资金密集型、技术密集型和智力密集型的特征,对企业资金实力、研发投入、技术积累等均提出了极高要求。

    目前市场中,一方面 IDM 企业受到来自升级产业线以及降低成本维持利润的双重压力,市场中已出现 IDM 企业将制造环节外包的情况;另一方面,MEMS产品应用的爆发式增长需要不同领域、不同行业的新兴 MEMS 公司参与其中,但巨额的工厂建设投入、运维成本以及 MEMS 工艺开发、集成的复杂性却形成了较高的行业门槛,阻碍了市场的持续扩张。

    在此背景下,纯 MEMS 代工厂与 MEMS 产品设计公司合作开发产品的商业模式将成为未来行业业务模式的主流。类似于传统集成电路行业发展趋势,MEMS 产业将逐步走向设计与制造分立、制造环节外包的模式。

    4085f38749f2de9175fb1a9b96be4484.png

    MEMS 制造主要指 MEMS 芯片制造,行业内主要经营模式包括两类,一类是依靠自有生产线进行生产,另一类则是外包给 MEMS 代工厂进行生产。行业内提供 MEMS 制造代工服务的企业,从芯片类型和产业价值链来看,主要分为三类,即纯 MEMS 代工、IDM 企业代工以及传统集成电路 MEMS 代工。

    1、纯 MEMS 代工

    纯 MEMS 代工企业不提供任何设计服务,企业根据客户提供的 MEMS 芯片设计方案,进行工艺制程开发以及代工生产服务。代表企业有公司、TeledyneDalsa、IMT 等。

    2、IDM 企业代工

    IDM 企业即垂直整合器件制造商,该类厂商除了进行集成电路设计之外,一般还拥有自有的封装厂和测试厂,其业务范围涵盖集成电路的设计、制造、封装和测试所有环节。由于晶圆制造、封装和测试的生产线建设均需要巨额资金投入,因此 IDM 模式对企业的研发力量、资金实力和市场影响力都有极高的要求。在满足自身晶圆制造需求后,IDM 企业会将剩余的产能外包出去,提供 MEMS代工服务。采用 IDM 代工模式的企业均为全球芯片行业巨头,主要代表为博世(Bosch)、意法半导体(STMicro)、德州仪器(TI)等企业。

    3、传统集成电路 MEMS 代工

    传统集成电路(主要为 CMOS)代工企业以原有的 CMOS 产线为基础,嵌套部分特殊的生产 MEMS 工艺技术,将旧产线转化为 MEMS 代工线。由于批量生产能力突出,传统集成电路企业往往会集中向出货量较高的消费电子领域的MEMS 产品提供代工,该类代工企业以台积电(TSMC)、Global Foundries 等为代表。

    历史发展过程中,由于 MEMS 产品在材料、加工、制造工序等单个产品差异较大,器件标准化程度较低,影响了产业垂直分工的发展,行业以 IDM 企业为主导。近年来,随着 MEMS 技术的发展和市场需求的逐渐兴起,MEMS 标准化的程度大大发展,平台化基础正在形成,越来越多的 MEMS 产品的产业链垂直分工条件日趋成熟。

    十、MEMS封装测试

    目前具备MEMS封装测试能力的国际厂商主要有日月光、安靠、矽品、力成科技等,国内有华天科技、长电科技、晶方科技等厂商。尽管国内的MEMS前端制造还落后于国际大厂,由于国内的封装技术起步较早,国内MEMS产业链后端封装较为完善。

    封装技术与IC封装有着诸多不同,对企业的要求很高。众所周知,MEMS器件价格下降非常之快,目前部分MEMS器件中封装成本甚至占到总价格的40%到60%。如何做到低成本封装是封测厂商面临的巨大挑战。

    十一、MEMS传感器几大应用

    可穿戴设备应用

    7abdafe534d8974cf51eb10d85e95bbb.png

    以小米手环为例,就用到了ADI的MEMS加速度和心率传感器来实现运动和心率监测。

    Apple Watch内部除了MEMS加速度计、陀螺仪、MEMS麦克风,还有使用脉搏传感器。

    VR应用

    6a51f68a99a7ad50c97eaeea32d84a29.png

    VR设备需要足够精确测定头部转动的速度、角度和距离,采用MEMS加速度计、陀螺仪和磁力计来进行测定是重要的解决方案之一,几乎成为VR设备的标配。Oculus Rift、HTC Vive、PlayStation VR都采用了MEMS加速度计和陀螺仪,未来VR设备也可能会使用MEMS眼球追踪技术。

    无人机应用

    f6767c92f79b4932dafef72a8534e117.png

    无人机飞行姿态控制技术上,MEMS传感器又有了施展的空间。结合加速度计和陀螺仪,可以算出角度变化,并确定位置和飞行姿态。MEMS传感器能在各种恶劣条件正常工作,同时获得高精度的输出。MEMS加速度计和陀螺仪在无人机上的应用可谓是大放异彩。

    智能汽车应用

    78a9b223028567e2d3b711ca1f255deb.png

    车联网是物联网发展的重大领域,智能汽车是车联网的核心,正处于高速发展中。在智能汽车时代,主动安全技术成为备受关注的新兴领域,需要改进现有的主动安全系统,比如侧翻(rollover)与稳定性控制(ESC),这就需要MEMS加速度传感器和角速度传感器来感测车身姿态。语音将成为人与智能汽车的重要交互方式,MEMS麦克风将迎来发展新机遇。MEMS传感器在汽车领域还有很多应用,包括安全气囊(应用于正面防撞气囊的高g值加速度计和用于侧面气囊的压力传感器)、汽车发动机(应用于检测进气量的进气歧管绝对压力传感器和流量传感器)等。

    十二、MEMS产业链相关龙头企业

    1、赛微电子-国内MEMS代工龙头

    赛微电子是国内产品同时涵盖惯性及卫星导航,具有军工资质的为数不多的企业之一。公司立足导航产业,经多年发展形成“惯性导航+卫星导航+组合导航”产业链全覆盖,掌握了惯性导航及组合导航、高精度卫星导航定位的若干关键技术,同时其控股子公司具有从事军品研发、生产与销售的专业资质。

    2、苏奥传感-国内汽车油量传感器龙头

    苏奥传感全称为江苏奥力威传感高科股份有限公司,其主营业务是研发、生产和销售汽车零部件,主要产品分为三大类,分别为传感器及配件、燃油系统附件及汽车内饰件。目前是中国最大的汽车油量传感器制造企业之一,江苏省高新技术企业,公司于2016年4月29日在深交所创业板上市。苏奥传感目前公司拥有四家子公司,即传感器研究所、舒尔驰精密、烟台奥力威及武汉奥力威。2015年10月8日,公司决定对传感器研究所进行清算并注销。

    3、苏州固锝-已量产MEMS惯性传感器

    苏州固锝是国内半导体分立器件二极管行业最完善、最齐全的设计、制造、封装、销售的厂商,从前端芯片设计到后端封装技术,形成了一个完整的产业链。主要产品包括汽车整流二极管、功率模块、整流二极管芯片、硅整流二极管、开关二极管、稳压二极管、微型桥堆、军用熔断丝、光伏旁路模块等,产品广泛应用在航空航天、汽车、绿色照明、IT、家用电器以及大型设备的电源装置等许多领域。公司设计、研发太阳能电池用银浆以及各种电子浆料,研发并规模化生产物联网领域的MEMS传感器。

    4、华工科技-国内家电温度传感器龙头

    华工科技依托于华中科技大学,以激光技术及其应用为主业,建立了激光装备制造、光通信器件、激光全息仿伪、传感器、现代服务业的产业格局,将以智能制造和物联科技为主要业务发展方向。公司旗下企业华工激光、华工正源、华工高理、华工图像、华工赛百的产品广泛应用于机械制造、航空航天、汽车工业、钢铁冶金、船舶工业、通信网络、国防军工等重要领域,市场占有率处于行业领先地位。

    5、士兰微-国内稀缺的IDM模式半导体公司

    士兰微是一家专业从事集成电路以及半导体微电子相关产品的设计、生产与销售的高新技术企业。主要分为电源与功率驱动产品线、MCU 产品线、数字音视频产品线、物联网技术与产品线、射频与混合信号产品线、分立器件产品线等。目前是国内为数不多的IDM 模式半导体公司。

    6、汉威电子-国内气体传感器龙头

    汉威电子是国内最大的气体传感器及仪表制造商。公司围绕物联网产业,将感知传感器、智能终端、通讯技术、云计算和地理信息等物联网技术紧密结合,打造汉威云,建立完整的物联网产业链,结合环保治理、节能技术,为智慧城市、安全生产、环境保护、民生健康提供完善的解决方案。汉威电子坚持“聚焦专业细分市场”的发展战略,产品和系统解决方案已应用于全球近百个国家,建立了以传感器为核心,覆盖多门类检测仪表及行业物联网应用的整体布局。

    7、中航电测-军工MEMS龙头

    中航电测仪器股份有限公司是中国航空工业集团公司控股企业,主营业务为研制电阻应变计、精密电阻、应变式传感器、称重仪表和软件、航空机载和地面测试系统、机动车性能及环保检测系统、机动车驾驶员智能化培训系统、远程联网监管网络平台、车载称重控制系统、工业自动化系统、精密机电控制产品和物联网应用等军民用测量和控制产品及系统解决方案。公司拥有国际水平的设计能力、高水平的工艺装备及工艺制造技术,在国内中高端应变计和传感器市场占据主导地位。

    未来智能实验室的主要工作包括:建立AI智能系统智商评测体系,开展世界人工智能智商评测;开展互联网(城市)大脑研究计划,构建互联网(城市)大脑技术和企业图谱,为提升企业,行业与城市的智能水平服务。每日推荐范围未来科技发展趋势的学习型文章。目前线上平台已收藏上千篇精华前沿科技文章和报告。

      如果您对实验室的研究感兴趣,欢迎加入未来智能实验室线上平台。扫描以下二维码或点击本文左下角“阅读原文”

    8bc95b3f028314b4ad5784ca6c147459.png

    展开全文
  • MEMS传感器是令人惊奇的小器件,大小仅为几平方毫米,通常包含两个芯片。一个是传感器芯片,通常来说MEMS器件提供运动或压力信息,但它也可以用作磁性固态传感器。
  • 近几年,各种智能穿戴设备兴起,其中智能手环、腕表更是花样繁多,但究其根本,在核心硬件原理上,都大同小异,而传感器作更是其中必不可少的一环,下面笔者就为大家盘点目前主流智能手环所用的传感器有哪些.
  • 导读: 随着可穿戴智能设备的发展,特别是医疗可穿戴智能设备,主要依靠MEMS传感器,从而检测到穿戴者的身体各项信息。那么什么是MEMS传感器呢?
  • MEMS最初大量用于汽车安全气囊,而后以MEMS传感器的形式被大量应用在汽车的各个领域,随着MEMS技术的进一步发展,以及应用终端“轻、薄、短、小”的特点,对小体积高性能的MEMS产品需求增势迅猛,消费电子、医疗等...

    MEMS,全称Micro Electromechanical System,微机电系统。是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置,其内部结构一般在微米甚至纳米量级,是一个独立的智能系统。

    MEMS最初大量用于汽车安全气囊,而后以MEMS传感器的形式被大量应用在汽车的各个领域,随着MEMS技术的进一步发展,以及应用终端“轻、薄、短、小”的特点,对小体积高性能的MEMS产品需求增势迅猛,消费电子、医疗等领域也大量出现了MEMS产品的身影。

    1. MEMS传感器的类别:

    MEMS 传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。它具有体积小、质量轻、成本低、功耗低、可靠性高、技术附加值高, 适于批量化生产、易于集成和实现智能化等特点。MEMS 传感器和IC芯片最大的区别在于:MEMS 是可动结构,利用微纳加工技术同时加工出机械结构和电路系统。如图1中所示,是目前市场中常见的一些MEMS传感器,并且随着MEMS传感器的不断发展,还出现了许多从前没有的MEMS传感器,如流体黏度传感器,密度传感器等等。
    在这里插入图片描述

    图1 MEMS传感器的分类[1]

    2.MEMS传感器的市场规模与发展

    自2015年开始MEMS传感器市场规模稳步提升[2],产品需求大幅增加,在物联网的发展和智能终端领域也得到广泛应用,传感器产品需求大幅增加,重心逐渐转向技术含量较高的MEMS传感器领域。在 MEMS 传感器应用前景良好和国产化进程提速背景下,未来我国 MEMS 传感器市场前景广阔。前瞻产业研究院结合之前的发展数据预测,未来几年我国MEMS传感器市场规模年均增速保持在15%左右,预测到2025 年我国 MEMS 传感器市场将达到 1488.6 亿元[3]。
    在这里插入图片描述
    图2:2015—2020年MEMS传感器市场规模[2]
    在这里插入图片描述
    图3:2020-2025年中国MEMS传感器行业市场规模预测[3]

    3.常见的MEMS传感器

    以手机和汽车为例,根据博世的统计数据表示,2021年,一部5G手机大概消耗20个MEMS传感器,一辆汽车,大概消耗50个以上MEMS传感器,其中加速计、压力传感器、陀螺仪的应用合计占比超过95%,接下来,对这些常见的MEMS传感器进行一个简单的介绍

    (1)MEMS压力传感器

    压力传感器作为MEMS的头号传感器,在市场中占有巨大的份额,MEMS压力传感器是一种薄膜元件,受到压力时会产生变形,常常通过压阻或者电容的形式将形变转化为电信号,再经过过转换元件和转换电路,输出与压力成线性关系的电流或者电压信号。压阻式和电容式这两种方法都很流行,在工艺和性能上,压阻式工艺复杂,温度特性较差,电容式除了具有低温度系数,零静态功耗等优势,还具有灵敏度高、线性度好、后续处理电路易于设计等优点,此外,除了电容式和压阻式外,还有谐振式压力传感器等其他工作原理的MEMS压力传感器。MEMS压力传感器的应用领域包括:汽车、医疗和工业等,典型的应用比如:汽车的胎压监测

    (2)MEMS加速度传感器

    加速度传感器的原理随其应用而不同,有压阻式,电容式,压电式,谐振式等。已压阻式MEMS加速度传感器为例,其制作方法,是通过注入、推进、氧化的创新工艺来制作压敏电阻;采用KHO各向异性深腐蚀来形成质量块;并使用AES来释放梁和质量块;最后利用键合工艺来得到所需的“三明治”结构[4]。

    在这里插入图片描述
    图4:MEMS压阻式加速度传感器结构[4]

    (3)MEMS陀螺仪

    微机械陀螺仪的设计和工作原理可能各种各样,但是公开的微机械陀螺仪均采用振动物体传感角速度的概念。利用振动来诱导和探测科里奥利力而设计的微机械陀螺仪没有旋转部件、不需要轴承,已被证明可以用微机械加工技术大批量生产,一般的微机械陀螺仪由梳子结构的驱动部分和电容板形状的传感部分组成,有的设计还带有去驱动和传感耦合的结构。MEMS陀螺仪常用于汽车旋转速度的测量,与加速度传感器一起组成主动控制系统。

    在这里插入图片描述
    图5:MEMS陀螺仪[5]

    (4)MEMS黏密度传感器

    黏密度作为流体的重要特性,描述了流体的流动特性和质量关系,目前市面上的黏密度计,主要针对的应用领域包括:实验室测量,流体粘度、密度、浓度、质量监测/测量等,比较典型的包括:燃油质量监测,食品包装气监测,焊接气体浓度监测,医药生产链的材料流体密度、浓度监测等等,与传统的黏度测量方法(毛细管法、落球法和旋转法等)和密度测量方法(气量计、比重瓶和浮力法等)不同,MEMS黏密度传感器常用的测量原理是采用谐振式的微悬臂梁结构,通过让流体与悬臂之间发生谐振,利用谐振频率与流体粘密度间关系,结合转换模块,将流体的黏密度数据转换为数字信号。(图为MEMS黏密度传感器的芯片)
    在这里插入图片描述

    图6:MEMS黏密度传感器芯片,其长宽小于10mm x 10mm

    参考文献:

    [1]王淑华. MEMS传感器现状及应用[J]. 微纳电子技术,2011,48(08):516-522.

    [2]韩允. MEMS传感器的发展概况[J]. 电子产品世界,2019,26(01):4-8.

    [3] 本土传感器产业现状、挑战与建议 作者:李晨光

    https://www.eefocus.com/sensor/462503?utm_source=zhihu&utm_medium=cpc&utm_campaign=zhihu20200306

    [4] MEMS加速度传感器的原理与构造介绍 传感器技术

    展开全文
  • 与因特网相似,全球定位系统(GPS)卫星导航正成为人们日常生活各个方面都离不开的一项泛在技术。在生死危急关头,GPS不仅可以使紧急救护车发现最快的响应路线路径;而且GPS可以使海上考古学家直奔研究船只目标搜寻...
  • 临床医学听诊系统模型的体位不同,听诊效果也不一样,为了检测出模型的体位信息,在听诊系统模型的不同部位安装小巧而灵敏的MEMS加速度传感器,精确检测出模型的坐、卧、俯、仰等多种体位,然后经单片机PIC32处理后将体位...
  • 针对现有井下人员定位系统存在定位精度低及成本高等问题,设计了基于MEMS传感器的煤矿井下人员定位系统。该系统采用MPU9150惯性传感器获取测量数据,以CC2530为主控芯片实现数据的采集、处理;通过井下已有的WiFi基站,...

空空如也

空空如也

1 2 3 4 5 ... 20
收藏数 4,871
精华内容 1,948
关键字:

mems传感器

友情链接: 免疫算法.zip