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SECS标准,用来统一各个生产设备之间以及生产设备和控制设备之间的通讯,是半导体生产流程中最基本的标准。 展开全文
SECS标准,用来统一各个生产设备之间以及生产设备和控制设备之间的通讯,是半导体生产流程中最基本的标准。
信息
外文名
SEMI Equipment Communication Standard
简    称
SECS
功    能
快速地整合在CIM的管理系统
制定了
半导体设备通讯标准接口
SECS引 言
在高度自动化的半导体制造厂中,CIM(Computer Integrated Manufacturing)统一管理各设备的生产流程,并随时监控设备过程的状态,以减少过程失误进而降低成本及提升产品的质量。但随着过程的不同,各设备有着不同特性的差异且各制造商所提供的设备也不尽相同,因此增加CIM自动化管理的困难与复杂程度。软件集成自动化存在的主要问题是在不同的设备供应商之间没有标准的通讯协议。设备供应商不向半导体生产商开放通讯协议及接口软件,这使得半导体生产商不得不建立他们自己的软件“连接”,导致了项目费用的巨大增加。SEMI(Semiconductor Equipment and Materials Institute)制定了半导体设备通讯标准接口SECS(Semiconductor Equipment Communication Standard),让CIM与设备间有通用的通讯标准接口,设备制造商只要提供符合通讯标准规范的设备,便可快速地整合在CIM的管理系统,不但可缩短设备开发的时间及成本,并可增加设备装机的效率达到快速量产,进而提升产能输出。
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